电容式传感器的纳米-纳米定位

电容式传感器可实现短距离纳米级分辨率。该传感器以舞台结构为目标，比线性编码器紧凑得多。电容式传感器以激光测距干涉仪成本的一小部分提供亚纳米级分辨率。



电容式传感器从微观意义上的理想提供位置反馈的压电马达或音圈驱动的纳米应用，以及倾斜机构位置传感器。它们可以用作伺服回路中的反馈传感器，也可以用作独立位置传感器。纳米定位通常是一个、两个或三个轴定位器在几百微米的顺序每轴提供旅行。纳米定位一般弯曲的方式从金属固体块加工建造，以提供最小的离轴运动很纯粹的运动。执行器要么是压电马达，要么是音圈。电容传感器提供以下优点作为纳米定位反馈装置：



效益

电容传感器的分辨率在纳米级。

对于扫描应用，电容传感器提供了非常线性，并消除与光学编码器相关的周期性误差。

对于要求位置稳定的应用，电容传感器非常稳定，可以用基本上零散热的材料制造。

用于快速工具伺服的高带宽电容传感器

快速刀具伺服反馈sensorfast机床伺服系统中使用的各种加工应用到机器的非旋转对称面和创造各种表面结构。快速刀具伺服是一种高性能的线性致动器，使工具在特定带宽刀架模块。



从微观意义上的电容传感器，用于提供伺服系统的反馈，提供高带宽和快速刀具伺服应用程序所必需的高分辨率。我们的模型8810可用带宽高达20千赫。