真空环境下精密位置传感器的研制
精密位置传感器,将在高真空或超高压操作(超高真空)环境必须精心构建以低蒸汽压材料以避免出气。微观意义上已经准备在真空环境操作的传感器相当的经验,请与您的具体要求与我们联系。我们的探针已成功地应用于FIB(聚焦离子束)系统、扫描电子显微镜系统、光刻系统和各种大型实验物理项目中。
线性位置测量范围从10微米到4毫米。
玻璃金属探针提供低释气和高稳定性。探头体积小,以减少真空室的表面积。
真空制备的圆柱形探头使用真空兼容的材料和粘合剂,并提供几乎零的散热探头。
探头有非磁性结构。
提供几种风格的室壁的引线
真空制备的探头可用于4800系列和8800系列精密位置传感器。 |